2026年6月1日上午10时32分，韩国清州SK海力士芯片厂6楼气体室（连接M15和M15X生产区）发生火灾 [1, 2, 3, 4]。火灾触发自动喷水灭火系统，火势迅速被控制 [1, 5, 2, 3]。

火灾途中释放出氢氟酸有毒气体，测得浓度约为5ppm，超过了美国职业安全健康管理局规定的8小时暴露极限3ppm [1, 6, 3, 4]。为安全起见，厂区约3600名员工随即被紧急疏散 [1, 7, 6, 2, 3]。

事故后，根据不同报道，6至11人因眼睛刺激等症状被送往医院检查或治疗，大多数患者症状轻微，主要为眼部不适 [1, 5, 8, 6, 4, 3]。SK海力士表示，火灾未波及核心芯片产线及生产设备，生产正常运行，“原因疑似气体管道出现问题” [9]。

该厂是SK海力士重要的半导体制造基地，主要生产NAND闪存，并计划在M15X工厂投产高速带宽存储器（HBM） [6, 3]。事故发生后，有毒残留气体被清除，环境检测显示厂区安全无异常，饶厂提前复工 [9, 4]。

下一步，SK海力士将继续调查火灾具体原因并加强安全措施，确保员工健康和工厂运营安全。